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阴极敏感膜复合真空微电子压力传感器的研究
一、阴极-敏感膜复合型真空微电子压力传感器研究(论文文献综述)李慧娟,刘诗斌,冯晴亮[1](2022)在《基于二维层状半导体材料的电化学传感器性能研究及应用进展》文中进行了进一...